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半導體矽片晶(jīng)圓切割後常用的切削液
返回列表 來源: 發布日(rì)期: 2023.04.24

晶圓切割切削液是(shì)一種用(yòng)於半導體(tǐ)晶圓切割的特(tè)殊加工液。它在晶圓切割加工過程中起到潤滑、冷卻、清洗等多種功能,能夠提高加(jiā)工精度和效率。

晶圓(yuán)切割切削液的主要成分包括基礎油、乳化劑、防鏽劑、抗菌劑、抗氧化劑等。在使用時,需要根據加工材料的不同、加工條件的不同進(jìn)行調配(pèi),以達到最佳的加工效果。

晶圓切割切削液的應用

晶圓切割切削液的優點在於(yú)它具有良好的潤滑性和冷卻性能。在切割加(jiā)工過程(chéng)中,潤滑油能夠有效地減少摩擦,避免晶圓表麵損(sǔn)傷和表(biǎo)麵質量降低。同(tóng)時,它還能夠有效地降低加工(gōng)溫度,保護晶圓和工具,延長工具壽(shòu)命。

此外,晶圓切割切削液還具有優秀的清洗性能。它能夠有效地清洗切削(xuē)過(guò)程中產(chǎn)生的切屑和碎片,防(fáng)止(zhǐ)它(tā)們對晶圓產生損害。同時,它(tā)還能夠防止加(jiā)工過程中產生的氧化物和氫氧化物對晶圓表麵產生腐(fǔ)蝕。

在使用晶圓切(qiē)割切削液時,需要注意以下幾點。首先,應該選(xuǎn)擇合適的切削液類型和濃度。其(qí)次,在(zài)使用前應該充分攪拌均勻,確保切削(xuē)液能(néng)夠充分發揮作用。最後(hòu),在使(shǐ)用過程中應該定(dìng)期(qī)更換切削液,並保持設備的清潔和衛(wèi)生。

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